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FT系列是国家“十一五”重大专项所支持,由我公司自主研发的12英寸PECVD设备,拥有100%只是产权。其用于90-40纳米集成电路的生产,具备14-10纳米技术的延伸性。设备生产成本(CoO)及性能指标,达到世界领先水平。设备已在近10家国内及台湾企业的大估摸集成电路及先进封装生产线实施量产,累积超过50万片。

国际领先的生产成本(CoO)及性能指标

可搭载1-3个PM

可选8英寸兼容刚组建

可配置1-3路液态源

具有成熟的SiO2、SiN及SiON标准工艺

具有高温(400℃)TEOS SiO2工艺

具有TSV所需的低温(<200℃)TEOS SiO2工艺

通过S2安全认证和F47标准检验